全自动样品制备系统

型 号:1030
价 格:0元
纳米级的分辨能力和低加速电压(小于 2kV)、高品质的图象质量使的SEM成为材料研究领域的一个强有力的工具。但随着半导体技术和纳米科技的发展,尤其是复合材料细微结构的越来越小,SEM对样品的表面的要求也就越来越高,针对这种情况,Fischione 最新推出了Model 1030 全自动样品制备系统(ASaP),它能显著的提高经过切割、机械打磨和FIB加工的SEM样品的图象质量和分析数据的准确性,集等离子清洗、离子束刻蚀、反应离子束刻蚀、反应离子刻蚀和离子束喷镀功能于一身的AsaP系统,极具灵活性,各项功能可随意选择和任意安排顺序,友好的人机交流界面,操作简单,整个流程完成时间仅需要几分钟。根据样品高度的不同,仪器能自动调整样品控制马达的位置,以更好的优化制备流程。带有气锁装置的装样系统,使得样品即使是在更换时也不影响整个设备的真空状态,系统所有功能均在一个共同的无油真空腔室中完成。
 详细介绍

清洗功能-除去样品表面的有机污染物,确保清晰的原子像。

 

刻蚀功能-抛掉样品表面的划痕和破损,形成光滑的表面。

          根据不同的样品可选择不同的工作气体。

 

喷镀功能-在样品表面喷镀一层导电膜,沉积速度和厚度成像可控,镀层材料选择范围广。

   程序控制功能

           操作                      可控参数
          
等离子清洗 →     时间
           离子束刻蚀 →     工作气体的选择;离子束的电流和电压值;

                                          刻蚀角度;样品的旋转和摆动角度;刻蚀时间
           反应离子刻蚀 →  进程气体的流速和工作腔室;气压;功率;刻蚀时间
           离子束喷镀  →      镀层材料的选择;镀层厚度;镀层速率

 

    自诊断功能-可方便的协助用户进行系统的维护

 

仪器说明:

 

样品尺寸:

      • 直径最大为25mm,厚度可达12.5mm

 

  • 主要的性能:

 

    • 等离子清洗
      • 高频(13.56MHz) 耦合等离子
      • 离子能量低于15ev
    • 离子束刻蚀
      • 离子源的电压0.5to 6.0 kV、电流3 mA10 mA连续可,
      • 刻蚀角度090度以1度增量连续可调
      • 样品360° 旋转、摆动以以1度增量在 180° 范围内连续可调
      • 2个工作气体入口可选
    • 反应离子刻蚀
      • 功率和腔室压力可调
      • 3个工作气体入口可选
    • 离子束喷镀
      • 均匀分布于整个样品,喷镀厚度可设
      • Amorphous coating
      • 4种可选的镀层材料

 



 

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